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披露一种分离非金属衬底的设备和方法包括第一射束；定位成使得冷却剂流在第一点的拖尾端部处或其附近施加在衬底上的第一骤冷装置；第二射束；以及定位在第一骤冷装置和第二射束之间的第二骤冷装置。调节第一划线射束冲击在衬底上的角度和冲击在衬底上的第一划...
该专利属于应用光电技术公司;东丽工程株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过应用光电技术公司;东丽工程株式会社授权不得商用。

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