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本发明是有关于一种监测刻蚀工艺的方法，其先以通气体步骤将不会与具有特定组成的化学液反应的气体以气体管路装置通入化学液中，并得到对应于化学液组成的第一平衡压力，再将待刻蚀的晶圆半成品放入化学液中进行刻蚀步骤，接着进行气体压力侦测步骤记录该气体...
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