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本实用新型公开了一种用于MOCVD设备的隔离装置，该隔离装置包含：第一隔离部分和第二隔离部分；第一隔离部分包含：第一环形挡板，与第一环形挡板相连接的支撑部，以及与支撑部相连接的若干个连杆；第二隔离部分包含第二环形挡板，第一隔离部分和第二隔离...
该专利属于中晟光电设备（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中晟光电设备（上海）有限公司授权不得商用。

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