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接合装置、接合系统及接合方法制造方法及图纸
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下载接合装置、接合系统及接合方法的技术资料
文档序号:8490746
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本发明提供接合装置、接合系统及接合方法。用于抑制在与支承基板接合后的晶圆上产生翘曲、变形。用于将被处理晶圆(W)和支承晶圆(S)接合起来的接合装置(30)包括:处理容器(100),其能够使内部密闭;接合部(113),其以使粘接剂介于被处理晶...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。
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