下载一种高精度微流红外气体传感器及其测量方法的技术资料

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本发明提供一种高精度微流红外气体传感器及其测量方法,该高精度微流红外气体传感器包括红外光源系统、测量气室、红外半导体探测器、窄带滤光片、微流红外探测器、信号处理及输出系统,测量气室上同侧设有气体入口、气体出口,另一侧设有一通道,红外半导体探...
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