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一种高精度微流红外气体传感器及其测量方法技术
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文档序号:8451869
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本发明提供一种高精度微流红外气体传感器及其测量方法,该高精度微流红外气体传感器包括红外光源系统、测量气室、红外半导体探测器、窄带滤光片、微流红外探测器、信号处理及输出系统,测量气室上同侧设有气体入口、气体出口,另一侧设有一通道,红外半导体探...
该专利属于武汉四方光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉四方光电科技有限公司授权不得商用。
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