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本发明公开了一种减少振动式硅微陀螺模态耦合误差的激光修形方法，其步骤为：（1）信号测试：测试硅微陀螺芯片的驱动信号Vd和模态耦合误差信号Vm，并确定两信号的峰峰值大小及相位关系；（2）确定激光修形的类型：根据步骤（1）的信号确定激光修形的类...
该专利属于中国人民解放军国防科学技术大学所有，仅供学习研究参考，未经过中国人民解放军国防科学技术大学授权不得商用。

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