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高出光率倒装结构LED的制作方法技术
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下载高出光率倒装结构LED的制作方法的技术资料
文档序号:8414011
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一种高出光率倒装结构LED的制作方法,包括:在衬底上依次制作氮化镓成核层、氮化镓缓冲层、n型氮化镓电子注入层、多量子阱层、p型GaN空穴注入层、电流扩展层;用树脂将一临时基板与电流扩展层粘接;将衬底剥离;去掉临时基板,形成基片;对基片进行粗...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。
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