温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型揭示一种硅片外形缺陷在线检测模组，用于检测在传输带上传输的硅片，包括照射在所述硅片上的扫描光源，及扫描相机；其中扫描光源的扫描光束以与所述硅片呈锐角的入射角照射到所述硅片上，所述扫描相机固定于所述扫描光源的扫描光束在出射光峰值最大...
该专利属于库特勒自动化系统（苏州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过库特勒自动化系统（苏州）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。