下载探针形状检测装置和探针形状检测方法的技术资料

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本发明的探针形状检测装置具有:第1和第2磁场检测部,它们检测由沿着细长形状的探针的长度方向设置的磁场产生元件产生的磁场,作为相互垂直的3个轴方向的磁场成分,输出与检测到该磁场成分时产生的电动势组对应的磁场检测信号;候选矢量运算部,其根据第1...
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