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探针形状检测装置和探针形状检测方法制造方法及图纸
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文档序号:8348989
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本发明的探针形状检测装置具有:第1和第2磁场检测部,它们检测由沿着细长形状的探针的长度方向设置的磁场产生元件产生的磁场,作为相互垂直的3个轴方向的磁场成分,输出与检测到该磁场成分时产生的电动势组对应的磁场检测信号;候选矢量运算部,其根据第1...
该专利属于奥林巴斯医疗株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过奥林巴斯医疗株式会社授权不得商用。
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