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一种电主动调制的近红外薄膜型滤波器件，属于薄膜沉积技术领域，为了实现使用电主动调制的可以在近红外波段改变滤波器件透过率或反射率的薄膜型滤波器件，本发明包括基底，在基底上面的光学透过区交替沉积多层Si材料层和SiO2材料层，在基底上面的两端分...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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