下载具有惯性行星传动的多晶片旋转盘反应器的技术资料

文档序号:8327783

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本发明涉及晶片载体和用于移动反应器中晶片的方法。晶片载体(220)可以包括具有多个隔间的压板(215)和多个晶片平台(210)。压板(215)配置成围绕第一轴线旋转。每个晶片平台(210)与一个隔间相关联,并且配置成相对于各自的隔间(770...
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