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具有惯性行星传动的多晶片旋转盘反应器制造技术
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文档序号:8327783
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本发明涉及晶片载体和用于移动反应器中晶片的方法。晶片载体(220)可以包括具有多个隔间的压板(215)和多个晶片平台(210)。压板(215)配置成围绕第一轴线旋转。每个晶片平台(210)与一个隔间相关联,并且配置成相对于各自的隔间(770...
该专利属于威科仪器有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过威科仪器有限公司授权不得商用。
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