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本发明系提出一种以IB-IIB-IVA形成预合金靶材(预合金：将靶材元素选自至少一种以上之元素与靶材其他元素组合形成预合金)，利用此单一预合金靶材制作前驱膜层，避免因多步骤溅镀时需使用较多的靶材，大幅降低靶材损耗与增加靶材使用率；并以一次溅...
该专利属于吉富新能源科技(上海)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过吉富新能源科技(上海)有限公司授权不得商用。

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