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本发明提供了一种用于将图案转印至目标物表面的带电粒子小射束光刻系统，该系统包括用于确定一个或更多带电粒子小射束的一个或更多特征的传感器。传感器包括用于接收带电粒子（22）并且作为响应产生光子的转换元件（1）。转换元件包括用于接收一个或更多带...
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