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本发明涉及一种谐振腔，包括腔体，和设置在腔体内的谐振子，所述谐振子为超材料，该超材料包括至少一个材料片层，每个材料片层包括基板和附着在所述基板上的至少两个人造微结构，所述人造微结构中至少有两个人造微结构通过导线相连。根据本发明的技术方案，通...该专利属于深圳光启高等理工研究院;深圳光启创新技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳光启高等理工研究院;深圳光启创新技术有限公司授权不得商用。