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倾斜结构体、倾斜结构体的制造方法、以及分光传感器技术
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文档序号:8270287
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本发明提供倾斜结构体、倾斜结构体的制造方法、以及分光传感器。倾斜结构体的制造方法包括:在基板的上方形成牺牲膜的工序(a);在牺牲膜的上方形成第一膜的工序(b);形成第二膜的工序(c),所述第二膜包括:与基板连接的第一部分、与第一膜连接的第二...
该专利属于精工爱普生株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。
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