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便捷石墨舟制造技术
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文档序号:8252409
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本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域,尤其是一种便捷石墨舟。其包括舟体、舟片、支脚、上电极和下电极,舟片设置在舟体内,支脚安装在舟体底部,上电极和下电极分别位于舟体的上部和下部,舟片上设有缺口。在每一片舟片的同一位置设置半圆形缺口,为插、取硅...
该专利属于沈文伟所有,仅供学习研究参考,未经过沈文伟授权不得商用。
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