下载基于石墨烯沟道的器件及其制造方法的技术资料

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提供基于石墨烯沟道的器件及其制造技术。在一方面,一种半导体器件包括:第一晶片,其具有形成于第一衬底上的至少一个石墨烯沟道、包围所述石墨烯沟道的第一氧化物层、以及接到所述石墨烯沟道并延伸穿过所述第一氧化物层的源极接触和漏极接触;以及第二晶片,...
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