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本发明公开了一种Z-θx-θy三自由度高同轴度抗弯扭矩纳米级精度工作台，包括：压电陶瓷驱动器螺钉、压电陶瓷驱动器端盖、压电陶瓷驱动器端盖螺钉、压电陶瓷驱动器、外筒、三柔性铰链圆形片工作台连接螺钉、三柔性铰链圆形片工作台。本发明结构紧凑，可实...
该专利属于中国科学院光电技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院光电技术研究所授权不得商用。

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