下载透射型样品振幅和相位成像装置和方法的技术资料

文档序号:8190095

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一种透射型样品振幅和位相成像的装置和方法,通过移动扫描小孔光阑用其在一定距离处的衍射斑作为样品的照明光,并在小孔光阑在成像系统中的像面内用探测器其记录小孔光阑在不同位置时的衍射光斑,通过计算机进行迭代运算的方式获得样品的复振幅透过率函数,不...
该专利属于中国科学院上海光学精密机械研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院上海光学精密机械研究所授权不得商用。

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