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本发明公开了一种洁净室，用于存放玻璃基板，该洁净室内设有粒子监测单元，该洁净室内还设有自动清洁盒，该自动清洁盒用于对该粒子监测单元进行清洁。本发明公开的洁净室可以在洁净室内部对卡匣和粒子监测单元进行清洁，其方便快捷，有效地降低了人力成本。...
该专利属于深圳市华星光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市华星光电技术有限公司授权不得商用。

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