下载基板密封装置和使用该基板密封装置密封基板的方法的技术资料

文档序号:8162804

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本发明涉及基板密封装置和使用该基板密封装置密封基板的方法。具体地,一种基板密封装置,包括室、至少一个下挤压构件和至少一个上挤压构件。所述下挤压构件包括用于辐射热的挤压表面,被配置为在相对于所述挤压表面的竖直方向上被上升和下降,并且绕竖直方向...
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