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基于预测控制和交叉耦合的直驱XY平台轮廓控制方法，属于自动控制技术领域。该装置包括：信号采集器、位置给定器、预测控制器、交叉耦合控制器和驱动器，其中，交叉耦合控制器，包括：轮廓误差估计器和轮廓误差补偿器。本发明根据直驱XY平台的特点，提出基...
该专利属于沈阳工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过沈阳工业大学授权不得商用。

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