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本发明的目的在于提供一种光罩盒的光罩卡止具,该光罩盒的光罩卡止具是用于保存或搬运光罩基板的盒内的光罩卡止具,其可不接触光罩面而牢固地安置在盒内,且可防止光罩的破损或由偏移引起产生静电。本发明的光罩盒的光罩卡止具是包含混入有碳的树脂者,其设置...该专利属于株式会社荒川树脂;日星产业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社荒川树脂;日星产业株式会社授权不得商用。
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本发明的目的在于提供一种光罩盒的光罩卡止具,该光罩盒的光罩卡止具是用于保存或搬运光罩基板的盒内的光罩卡止具,其可不接触光罩面而牢固地安置在盒内,且可防止光罩的破损或由偏移引起产生静电。本发明的光罩盒的光罩卡止具是包含混入有碳的树脂者,其设置...