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本发明涉及微电子技术领域的材料，具体涉及一种Al-Sb-Se纳米相变薄膜材料。本发明提供一种Al-Sb-Se纳米相变薄膜材料，所述Al-Sb-Se纳米相变薄膜材料是由铝、锑、硒三种元素组成。本发明的Al-Sb-Se纳米薄膜材料具有如下优点：...
该专利属于同济大学所有，仅供学习研究参考，未经过同济大学授权不得商用。

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