下载曝光机光罩的技术资料

文档序号:8039394

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一种曝光机光罩,包含基板,在基板表面设有透光区及遮光区,并由该透光区形成曝光显影的图样;其中,上述遮光区进一步环绕透光区的外周侧而形成遮光框,且遮光框的边缘造型设计为无接缝连接的外型,进而使本实用新型的光罩可简单的以连续排列的方式重复对晶圆...
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