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堆叠电容结构及其制作方法技术
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文档序号:8023368
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本发明公开了一种堆叠电容结构及其制作方法,堆叠电容结构中的各个电容的上电极是借由一连结节点互相电连结,形成堆叠电容结构的步骤如下:首先,提供一絶缘基底,絶缘基底包括至少一掺质絶缘材料层和至少一絶缘材料层,接着图案化絶缘基底,而形成一沟渠在絶...
该专利属于南亚科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过南亚科技股份有限公司授权不得商用。
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