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本发明提供一种晶片投片方法，包括：获取当前可使用反应室的信息；将所有完成相同工艺步骤的可使用反应室进行分组，以得到对应该工艺步骤的至少一个反应室组；根据制程包括的工艺步骤及各工艺步骤对应的至少一个反应室组，获得所有可能的制程方案；计算各制程...
该专利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（上海）有限公司授权不得商用。

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