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等离子体处理装置用电介质窗、等离子体处理装置和等离子体处理装置用电介质窗的安装方法制造方法及图纸
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文档序号:7999265
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在等离子体处理装置用电介质窗(41)中,在生成等离子体的一侧的面的径向外侧区域,设置有排列成环状、向电介质窗(41)的板厚方向内侧凹入成锥形状的第一电介质窗凹部(47)。在第一电介质窗凹部(47)的径向内侧区域,设置有从生成等离子体的一侧的...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。
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