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电容器件及其制造方法技术
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文档序号:7997015
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本发明实施例公开了一种电容器件,包括:下电极;下电极上的介质层,其中,所述介质层包括有机介质层;介质层上的上电极。通过形成包括有机介质层的介质层,有机介质层具有更好的电子俘获能力,可以减少电容器件的漏电,从而提高电容器件的性能。...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。
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