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本发明提供一种磁控管、磁控管的制造方法及应用上述磁控管的物理沉积室。其中，本发明提供的磁控管包括可绕靶材中心轴旋转的极性方向相反的内磁极和外磁极，内磁极设置于外磁极的内部，在内、外磁极之间形成闭合曲线形的磁场轨道，由中心轴发射出去的任一角度...该专利属于北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司授权不得商用。