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本发明一种光刻对准系统参考板的调整机构，包括：固定结构，用于参考板的位置固定；以及调节机构，用于对参考板的X、Y和Rz自由度进行调节；所述调节机构与所述参考板连接，当完成调节后可拆卸。在满足调节参考板的X、Y和Rz自由度，探测光纤的X、Y和...
该专利属于上海微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备有限公司授权不得商用。

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