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多晶硅层的制造方法及用于其的金属混合层形成装置制造方法及图纸
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文档序号:7955931
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本发明公开一种多晶硅层的制造方法。本发明的一实施例涉及的多晶硅层(22)的制造方法,其特征为,使非晶硅层(20)和金属混合层(30)接触之后,对非晶硅层(20)进行晶化热处理,从而制造多晶硅层(22)。根据本发明,能够提供导入少量金属催化剂...
该专利属于泰拉半导体株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过泰拉半导体株式会社授权不得商用。
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