下载膜基板传送装置的技术资料

文档序号:7955564

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一种用于膜基板的传送装置,该传送装置能高精度地调节分别沿前进馈送方向和后退馈送方向传送的各个基板的位置。一种用于膜基板的传送装置,该传送装置构造成沿垂直方向传送带状膜基板(2),其中,膜基板沿其宽度方向的一端定位在上侧。用于膜基板的传送装置...
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