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本发明提供了一种批处理机台派货的方法和装置，该方法通过比较每个晶片组在批处理机台中执行工序的配方参数和该批处理机台的待处理晶片组的当前配方参数，优先处理配方参数相同晶片组的当前工序，向批处理机台派货，使得批处理机台尽快得到能够和待处理晶片组...
该专利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（上海）有限公司授权不得商用。

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