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一种石英敏感芯片，包括本体，在该本体上设置有开槽，该开槽的末端具有拐角结构，其特征在于，所述拐角结构和本体表面之间形成有一台阶，该台阶和本体表面之间的壁面为圆弧面，台阶和圆弧面通过腐蚀加工而成。圆弧面能均衡结构中的应力分布，降低应力峰值，从...
该专利属于中国电子科技集团公司第二十六研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司第二十六研究所授权不得商用。

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