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多晶硅铸锭炉和多晶硅铸锭方法技术
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文档序号:7894105
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本发明公开了一种多晶硅铸锭炉,炉体包括上炉盖、炉身和炉底,炉底和炉身采用液压连接;所述保温体为立方形,保温体包括上保温体和下保温体;石墨平台位于保温体中,四个坩埚放置于石墨平台上;上加热体和下加热体都位于所述保温体中,且上加热体位于上保温体...
该专利属于上海普罗新能源有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海普罗新能源有限公司授权不得商用。
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