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包括新丙烯酸系单体的光刻胶用共聚物和包括其的光刻胶用树脂合成物制造技术
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下载包括新丙烯酸系单体的光刻胶用共聚物和包括其的光刻胶用树脂合成物的技术资料
文档序号:7892867
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一种包括新丙烯酸系单体的光刻胶用共聚物和包括其的光刻胶用树脂合成物。根据本发明的一个实施例的光刻胶用树脂合成物,包括:100个重量单位的以下列化学式3表示的共聚物;0.5到15个重量单位的光酸发生剂;和700到1500个重量单位的溶剂。[化...
该专利属于韩国锦湖石油化学株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过韩国锦湖石油化学株式会社授权不得商用。
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