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本实用新型涉及一种进行晶圆热处理的热板设备，其顶面上设置有偶数个垫圈，该些垫圈在热板顶面围成一个圆形空间对晶圆进行限位；例如是使6个垫圈在热板上的布置逆时针或顺时针旋转30度，使得其中任意两个相对的垫圈的连线与晶圆的传送路径不在同一直线上。...
该专利属于上海宏力半导体制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海宏力半导体制造有限公司授权不得商用。

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