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本发明的课题是提供透明性、耐热性、灵敏度特性优异，在显影液中的溶解性优异，其结果适合用于形成分辨率高的微透镜的抗蚀剂组合物。作为解决本发明的课题的方法是一种正型抗蚀剂组合物，其包含下述(A)成分、(B)成分、(C)成分和(D)成分：(A)成...
该专利属于日产化学工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过日产化学工业株式会社授权不得商用。

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