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本发明公开了一种溶胶凝胶法制备铪铟锌氧（HfInZnO）薄膜的方法，属于半导体薄膜与器件领域。包括以下步骤：a,制备前驱体溶液和溶胶；b，采用旋涂法在洁净的基片上镀膜；c，预烘烤；d，高温退火；采用溶胶凝胶法制备的铪铟锌氧薄膜，设备简单，不...
该专利属于上海大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海大学授权不得商用。

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