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本发明提出一种平台台面的平面度测量装置与测量方法，包括XY二维运动平台系统、Z轴运动系统和Z轴加工头，Z轴加工头上设置有一套测量头，该测量头包括测量杆、固定座和感应器，感应器固定于固定座上，测量杆设置于固定座中并可上下移动。主要方法为Z轴运...该专利属于深圳市大族激光科技股份有限公司;深圳市大族数控科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市大族激光科技股份有限公司;深圳市大族数控科技有限公司授权不得商用。