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本发明公布了一种轴向运动电热式微镜的自动测试系统，包括测试光学系统和自动测试控制电路系统。一种轴向运动电热式微镜的自动测试方法，包括电热式微镜轴向位移与所加电压关系的测试和电热式微镜系统参数的标定方法。本发明首次将干涉方法使用在一维轴向运动...
该专利属于无锡微奥科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡微奥科技有限公司授权不得商用。

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