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本发明公开了一种半导体级单晶硅生产工艺,包括以下步骤:一、横向磁场布设:所布设横向磁场的磁场强度为1300高斯±100高斯;二、硅原料及掺杂剂准备;三、装料;四、熔料;五、引肩及放肩;六、转肩:放肩结束后进行转肩时,以3±0.3mm/min...该专利属于西安华晶电子技术股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过西安华晶电子技术股份有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种半导体级单晶硅生产工艺,包括以下步骤:一、横向磁场布设:所布设横向磁场的磁场强度为1300高斯±100高斯;二、硅原料及掺杂剂准备;三、装料;四、熔料;五、引肩及放肩;六、转肩:放肩结束后进行转肩时,以3±0.3mm/min...