下载高纯碳化硅粉体的高温固相合成方法的技术资料

文档序号:7832922

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本发明涉及一种高纯碳化硅粉体的高温固相合成方法,包括:配料工序:将高纯Si粉和高纯C粉混合均匀,其摩尔比为1:1~1.5:1;高真空热处理工序:将高纯Si和C粉放入坩埚中,然后置于加热炉中,对加热炉的生长室抽高真空至9×10-4Pa以下,同...
该专利属于上海硅酸盐研究所中试基地;中国科学院上海硅酸盐研究所所有,仅供学习研究参考,未经过上海硅酸盐研究所中试基地;中国科学院上海硅酸盐研究所授权不得商用。

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