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本发明涉及基板处理装置，其包括：第1基板搬运机械手，具有用于保持基板的手部；第2基板搬运机械手，具有用于保持基板的手部；以及手部清洗单元，清洗所述第1基板搬运机械手以及所述第2基板搬运机械手各自的手部。所述手部清洗单元，能够接受所述第1基板...
该专利属于大日本网屏制造株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过大日本网屏制造株式会社授权不得商用。

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