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本发明提供一种镀膜装置及利用镀膜装置制作氧化钨吸附管的方法,其中,氧化钨吸附管制作方法包括:将吸附管基管置于座体的承载台上;将钨丝和弹性件跨接在座体上,使得钨丝贯穿吸附管基管;将配置有吸附管基管和钨丝的镀膜装置置于真空环境下,对钨丝进行加电...该专利属于华瑞科学仪器(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过华瑞科学仪器(上海)有限公司授权不得商用。
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本发明提供一种镀膜装置及利用镀膜装置制作氧化钨吸附管的方法,其中,氧化钨吸附管制作方法包括:将吸附管基管置于座体的承载台上;将钨丝和弹性件跨接在座体上,使得钨丝贯穿吸附管基管;将配置有吸附管基管和钨丝的镀膜装置置于真空环境下,对钨丝进行加电...