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本发明提供一种低温泵及真空排气方法。本发明的低温泵（10）具备：第1低温板，具备具有屏蔽件开口（20）的放射屏蔽件（18）和配置于屏蔽件开口（20）的百叶窗（23）；第2低温板（24），被第1低温板包围；及制冷机（14），将第1低温板冷却至...
该专利属于住友重机械工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过住友重机械工业株式会社授权不得商用。

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