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基板、红外线传感器以及贯通电极形成方法技术
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文档序号:7790166
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本发明提供了一种基板、红外线传感器以及贯通电极形成方法。在元件电路形成前的衬底基板上形成导通孔,在所述衬底基板的元件电路形成面与所述导通孔的内面上进行热氧化以形成热氧化层。在所述热氧化工序之后,在所述衬底基板上形成具有导电部的元件电路,然后...
该专利属于精工爱普生株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。
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