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用于选择性地启动装置阵列的电荷控制技术制造方法及图纸
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文档序号:7763391
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本发明描述方法和设备,通过所述方法和设备,可将电荷传递到并行驱动的机电装置(例如,MEMS或NEMS)的阵列,以使得仅激活所要数目个所述装置。特定实施例涉及使用干涉式调制器IMOD所实施的视觉显示器。具体来说,描述用于在此类显示器中实现灰度...
该专利属于高通MEMS科技公司所有,仅供学习研究参考,未经过高通MEMS科技公司授权不得商用。
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