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一种压电致动器,包括:薄膜片材、第一电极、以及第二电极。所述薄膜片材响应于所述薄膜片材内感应的电场而发生物理变形。所述第一电极被嵌入所述薄膜片材中。所述第二电极被嵌入所述薄膜片材中,并与所述第一电极相互交错。通过向所述第一电极与第二电极施加...该专利属于惠普发展公司,有限责任合伙企业所有,仅供学习研究参考,未经过惠普发展公司,有限责任合伙企业授权不得商用。
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一种压电致动器,包括:薄膜片材、第一电极、以及第二电极。所述薄膜片材响应于所述薄膜片材内感应的电场而发生物理变形。所述第一电极被嵌入所述薄膜片材中。所述第二电极被嵌入所述薄膜片材中,并与所述第一电极相互交错。通过向所述第一电极与第二电极施加...